（2026 年 11 月 2 日）国内真空材料领域传来新进展，新一代高纯真空扩散泵油完成工艺优化与批量稳定性验证，凭借更低饱和蒸气压、优异热氧化安定性，进一步满足真空镀膜、冶金热处理、半导体器件制备、空间模拟及科研分析设备对超高真空环境的严苛要求，助力高端真空产业链国产化提质增效。

真空扩散泵油是扩散泵的核心工作介质，依靠高温汽化形成蒸汽射流，捕获腔体内部气体分子，以此构建高真空、超高真空工况，油品纯度、返油率、热稳定性直接决定真空系统的极限真空度与生产良率，也是精密真空制程里不可忽视的关键耗材。本次优化后的产品分为矿物型与硅油型两大品类，硅油款对标 704、705 规格，分子结构经过精馏提纯，杂质含量、放气指标得到控制，长时间连续运行下不易裂解、积碳，有效降低返油污染风险，适配光学镀膜、电子元器件蒸镀等对洁净度敏感的工艺；常规矿物扩散泵油则兼顾稳定性能与成本优势，面向真空冶炼、真空热处理等工业批量场景。

据行业调研信息，全球扩散泵油市场保持稳步增长，半导体、显示面板、新能源镀膜产能持续扩张，带动高纯真空耗材需求上行，市场对低析出、长寿命、可稳定供货的国产扩散泵油需求持续释放。此前不少高端超高真空场景长期依赖进口油品，供应链周期、采购成本、样品交期存在一定压力，国内厂商持续在分子蒸馏、深度脱气、精制提纯工艺上发力，逐步缩小和海外标杆产品的性能差距，部分规格已通过多家真空设备集成商、镀膜工厂长期上机测试，极限真空、泵速保持能力达到替代标准。

技术人员介绍，相比老款产品，新版扩散泵油强化宽温适应性，高温工况抗氧化能力提升，延缓油品老化变质，延长换油周期，减少设备停机维护频次；同时在生产端优化精馏管控，批次一致性更强，规避不同批次油品差异造成真空参数波动。产品配套完善的检测报告、MSDS 资料，支持外贸订单样品评估，适配国内及海外镀膜、冶金、科研机构客户的合规采购需求。

业内人士表示，真空是先进制造的基础条件，扩散泵油这类专用流体材料的持续突破，是真空装备国产化配套的重要一环。后续研发方向将围绕无硅污染型聚苯醚类超高真空油品、低 VOC 环保配方持续攻关，匹配半导体、分子束外延等极致洁净场景，推动国内高真空材料形成全梯度产品矩阵，为真空装备产业链自主可控提供支撑。