（2026 年 10 月 27 日）面向镀膜、半导体、真空冶金与科研设备领域的新一代真空扩散泵油完成批量稳定性验证，产品凭借超低饱和蒸气压、低返油率、优异热氧化稳定性等核心指标，进一步夯实国内高真空介质材料的国产供给能力，持续推动高端真空产业链自主可控进程。

真空扩散泵油是油扩散泵的核心工作介质，被称为高真空系统的 “血液”。扩散泵依靠泵油受热汽化形成超音速气流抽除气体，冷却后冷凝回流循环工作，油品性能直接决定系统极限真空度、腔体洁净度与连续生产稳定性。在光学镀膜、电子元器件制备、真空冶炼、材料科研、航天模拟舱等场景中，一旦油品返油过高、高温易分解，极易造成工件污染、良率下滑、设备频繁维护等问题，高端应用长期对油品纯度、馏分均匀性、抗老化能力提出严苛标准。

据了解，本次迭代的真空扩散泵油采用分子蒸馏深度精制工艺，严控馏分区间，有效降低挥发返流；油品在长期高温工况下不易裂解结焦，换油周期相比普通矿物型扩散泵油明显延长，既适配常规金属扩散泵、玻璃扩散泵，也可匹配精密镀膜、电子束蒸发等对洁净度敏感的产线。产品覆盖矿物型与苯基硅油型两大路线，可满足从 10⁻³ Pa 到 10⁻⁷ Pa 不同等级高真空需求，兼顾通用工业场景与超高真空科研装置使用要求。

行业人士表示，随着国内光伏镀膜、显示面板、半导体、精密光学产业扩产，以及高校、科研院所高端真空实验平台持续建设，高纯扩散泵油需求稳步上行。过去高端苯基类扩散泵油高度依赖海外品牌，交付周期长、采购成本偏高。近两年国内特种油品企业持续攻坚提纯工艺、配方优化、批次一致性控制，国产扩散泵油性能不断对标进口同类产品，逐步在中小批量试用走向产线规模化替代，供应链韧性持续增强。

在产业趋势上，市场需求正从单纯追求极限真空，转向低污染、长寿命、低运维成本、可稳定批量供货的综合方案。下游客户也更加重视油品配套技术服务，包括泵油选型指导、换油规范、真空系统污染排查等配套支持。多家真空设备厂商与镀膜企业已开始同步测试国产扩散泵油，逐步建立稳定的替代验证体系。

业内预判，伴随国内有机硅、特种润滑油合成技术持续突破，未来国产真空扩散泵油将进一步向超高洁净、低放气版本升级，在半导体、航天真空模拟等更高门槛场景加速渗透，为我国高真空装备产业链自主配套提供关键材料支撑。