（2026 年 10 月 12 日）国内高真空配套材料领域传来新进展，新一代高纯真空扩散泵油完成多批次客户现场验证，在极限真空、低返油率、热稳定性等关键指标上持续优化，进一步推动高真空核心耗材国产化落地，助力半导体、光学镀膜、真空冶金、科研精密仪器等产业降本增效。

真空扩散泵油是油扩散泵的核心工作介质，依靠蒸汽射流原理获取高真空环境，是各类高真空设备不可或缺的基础材料。行业主流产品分为矿物型扩散泵油与合成硅油型扩散泵油（704、705 系列），其中苯基硅油类扩散泵油凭借极低饱和蒸气压、优异抗氧化性、低出气率优势，成为半导体制造、航天模拟腔体、电子显微镜、质谱仪等高端场景的首选材料。在真空镀膜、真空冶炼等常规工业场景，矿物型扩散泵油凭借性价比优势保持稳定需求。

据行业调研数据，伴随国内光伏 N 型镀膜扩产、半导体设备国产化提速，国内高真空扩散泵油市场保持稳步增长。此前高端超高纯扩散泵油长期由海外厂商占据，近几年国内材料企业突破分子定向合成、深度提纯、金属杂质控制等关键工艺，国产扩散泵油逐步进入国内真空设备厂商、晶圆厂、光学镀膜企业的合格供应商名录，实现批量替代，打破进口材料长期垄断局面。

本次迭代的新一代扩散泵油重点优化两大方向：一是严控金属离子杂质，降低材料出气与腔体污染风险，适配洁净度要求严苛的半导体薄膜工艺；二是提升油品热氧化稳定性，延长油品使用寿命，减少设备停机换油频次，降低产线运维成本。测试结果显示，该系列硅油扩散泵油极限真空可达 10⁻⁷~10⁻¹⁰ Torr 区间，返油率可控，连续高温工况下不易裂解，适配长时间不间断生产工况。

真空行业技术人员介绍，扩散泵油选型直接影响真空系统稳定性与成品良率。不同应用场景对油品指标差异明显：普通镀膜、真空冶金可选用通用型扩散泵油；半导体前道、空间模拟、高端分析仪器，则必须选用超高纯苯基硅油扩散泵油，对杂质含量、返油控制要求极为严苛。

市场层面，行业呈现两大趋势：一方面下游客户更加看重材料全生命周期成本，不再单纯对比采购单价，油品寿命、维护成本、供货稳定性成为采购核心考量；另一方面在绿色制造与化学品合规要求下，低挥发、低毒害、可回收的环保型真空流体成为研发热点，国内外厂商均在布局新一代低 VOC 配方产品。

业内人士表示，随着国内高端制造持续发力，高真空产业链配套需求将持续释放。真空扩散泵油作为真空装备 “卡脖子” 小品类材料之一，后续企业需要持续深耕纯度提升、批次稳定性、海外合规认证，持续完善产品矩阵，为国产真空设备出海提供配套材料支撑。同时，企业也需要同步完善油品回收、再生方案，契合工业领域绿色低碳发展方向。