（2026 年 10 月 8 日）国内特种油品材料企业完成新一代真空扩散泵油产品优化迭代，新产品在极限真空度、高温抗氧化性、低返油污染等核心指标实现稳定提升，可满足真空镀膜、半导体器件封装、光学涂层、真空冶金、科研仪器等领域高真空工况需求，进一步加速高真空核心耗材国产化替代进程。

真空扩散泵油是油扩散真空泵的核心工作介质，依靠低饱和蒸气压特性，在加热气化后形成高速蒸汽流，带走腔体内气体，是获取高真空环境不可或缺的基础化工材料。泵油性能直接决定真空系统极限压力、洁净度与设备运维周期。传统矿物型扩散泵油高温易裂解、易产生积碳，容易造成工件污染；而硅油型扩散泵油凭借热稳定性强、无积碳残留、极低饱和蒸气压等优势，现已成为高端真空产线主流选择。

据产品测试数据显示，本次迭代的真空扩散泵硅油，外观为无色透明液体，批次指标一致性优异。产品具备优异的耐高温抗氧化能力，长时间连续运行不易发生劣化，有效减少返油现象，降低镀膜、光学元件生产中的油污染风险；宽温域特性适配不同地区车间环境，低温启动性能良好，可稳定维持高真空区间，大幅延长换油周期，帮助企业降低设备停机维护成本。产品对标国际同类牌号，可直接替代进口扩散泵油，适配各类国产与进口扩散泵设备。

当前国内真空产业快速发展，光伏镀膜、光学薄膜、半导体、真空热处理等行业持续扩容，市场对高纯度、性能稳定的真空扩散泵油需求持续增长。此前高端超高真空扩散泵油长期依赖海外供应，供应链周期长、采购成本偏高。本次国产材料技术优化，有效补齐产业链短板，为国内真空制造企业提供稳定、高性价比的耗材方案。

行业专家表示，真空材料属于高端装备 “隐形基础材料”，看似小众，却直接影响精密制造良率。随着国内企业持续加大特种硅油、真空油品研发投入，国产扩散泵油不仅在常规高真空场景实现批量应用，在电子显微镜、空间模拟试验等超高真空科研场景的验证工作也在稳步推进。

未来，企业将继续围绕洁净真空、绿色低 VOC 方向持续研发，开发环保型扩散泵油产品，同时完善配套应用技术服务，针对不同行业工况提供选型指导，助力我国真空装备产业链自主可控。