（2026 年 9 月 20 日）随着国内半导体、真空镀膜、商业航天、精密冶金等产业扩产持续推进，作为高真空系统核心介质的真空扩散泵油迎来市场需求与技术升级双重机遇，国产高性能扩散泵油加速实现对进口产品的替代，解决高真空工况下油品热分解、返流污染、使用寿命短等行业痛点。

真空扩散泵油是油扩散泵获取高真空的关键工作介质，依靠加热汽化、高速喷射实现气体抽除，广泛应用于光学镀膜、光伏电池制备、电子显微镜、真空冶炼、航天环境模拟等场景。行业产品主要分为矿物型扩散泵油与合成硅油型扩散泵油两大类。传统矿物型扩散泵油成本较低，但高温下易裂解积碳、返油风险高，多用于基础真空工艺；苯基合成扩散泵硅油饱和蒸气压极低、热稳定性强，高温运行不易产生碳化物，腔体污染小，能够稳定实现 10⁻⁷Pa 级高真空，是半导体、精密科研等高洁净工况的主流选择。

据真空行业调研信息显示，2026 年国内扩散泵油市场需求稳步上行，下游客户采购逻辑发生明显转变，从过去单纯比价，转向关注油品极限真空性能、抗氧化能力、换油周期与全生命周期使用成本。光伏 HJT、TOPCon 电池产线、显示面板镀膜产线持续新建，叠加国内科研院所、航天试验平台投入增加，带动高端合成扩散泵油需求快速增长。过去高端超高真空领域长期依赖海外进口油料，近年国内有机硅材料企业持续攻关，在油品纯度、分子量控制、低返流改性等关键指标上不断突破，多款国产 704/705 系列扩散泵硅油已经进入多家真空设备厂、镀膜工厂与科研机构开展长期稳定性验证，部分产品已实现批量稳定供货，有效降低国内真空制造企业耗材采购与运维成本。

业内技术人员介绍，扩散泵油的选型直接决定整套真空系统稳定性。一旦油品发生氧化裂解，会造成真空极限压力下降、腔室污染，轻则产品良率下滑，重则造成真空设备停机。在工艺要求严苛的半导体与光学镀膜产线，对扩散泵油的金属杂质含量、高温挥发损失、抗老化性能提出极高标准。国产厂商当前研发重点集中在低返油改性配方、长寿命抗氧化体系，进一步缩小与国际一线产品的差距。

行业专家表示，真空耗材属于高端装备产业链里的 “小而关键” 环节，扩散泵油国产化持续突破，补齐真空装备配套材料短板。未来随着国内精密制造产业持续发展，市场将进一步分化：通用工况矿物型扩散泵油保持存量稳定，超高真空、长周期连续运行场景的高性能合成扩散泵油，将成为增长主力。同时，厂商也将配套提供油品检测、系统维护、选型技术支持等增值服务，从单纯售卖耗材转向真空系统综合解决方案服务商。

不过行业仍存在挑战，在部分极致洁净超高真空场景，国产扩散泵油的长期服役稳定性还有持续优化空间，高端原材料提纯工艺仍需持续打磨。伴随国内有机硅精细化工产业的持续投入，真空扩散泵油的国产化渗透率预计将继续提升，助力我国真空装备全产业链自主可控。