（2026 年 9 月 14 日）国内有机硅新材料企业在真空扩散泵油产品研发与产业化落地方面取得新进展，新一代高纯度苯基硅油型真空扩散泵油完成多批次客户现场验证，核心性能指标对标国际同类产品，可稳定服务真空镀膜、半导体、光学器件、科研分析仪器等高真空场景，进一步推动高端真空介质材料国产化替代进程。

真空扩散泵油是扩散泵获取高真空环境的核心工作介质，被称作高真空装备的 “隐形核心材料”。产品需要具备极低饱和蒸气压、优异热稳定性与抗氧化能力，在泵体 200℃以上高温工况下不易裂解、结焦，同时控制返油率，避免污染真空腔体，保障镀膜、沉积等精密工艺稳定运行。传统矿物型扩散泵油高温易分解产生碳化物，污染工件；而苯基硅油类扩散泵油高温不积碳、化学稳定性强，成为当前高端真空工艺首选介质。

伴随国内光伏 N 型电池扩产、光学镀膜升级、半导体设备配套需求增长，高纯度真空扩散泵油市场需求持续释放。行业数据显示，国内高真空配套真空流体市场保持稳健增长，下游客户对油品洁净度、批次稳定性、合规认证、本地化交付及技术服务的要求持续提升，过去依赖进口高端泵油的局面正在逐步改变。

本次完成验证的国产真空扩散泵油，外观为无色透明液体，拥有超低饱和蒸气压，极限真空表现优异，高温长时间运行下分解少、返油低，油品使用寿命更长。产品可适配各类油扩散泵，广泛用于光学镀膜、金属薄膜沉积、真空冶金、电子显微镜、质谱仪器、航天空间模拟试验等领域，同时满足 REACH 等外贸合规要求，支持国内企业出口配套使用。

某光学镀膜企业工艺负责人介绍，此前产线长期使用进口扩散泵油，采购周期长、备货成本高。试用这款国产真空扩散泵油后，真空度稳定性达标，腔体污染情况可控，换油周期与进口产品接近，综合使用成本明显下降，供应链风险得到有效缓解。

业内人士表示，当前真空扩散泵油行业发展呈现两大趋势：一是高纯度、低挥发、低析出成为高端市场准入门槛，下游精密制造对油品杂质控制越来越严格；二是绿色化、长寿命产品加速替代传统油品，长周期油品可以减少废油产生，契合制造业降碳需求。过去高端市场长期由海外厂商主导，国内材料企业持续攻关分子结构设计、超纯精制工艺，不断缩小性能差距，国产扩散泵油正在从低端应用逐步渗透至半导体、精密光学等高附加值场景。

展望后市，随着国内高真空装备、薄膜工艺、科研大装置持续投入，真空扩散泵油市场空间有望继续扩容。国内新材料企业将持续迭代产品配方，完善批次管控体系，同步提供现场真空系统选型、油品维护指导等配套技术服务，持续夯实高真空产业链上游材料能力，为国内高端装备制造及外贸出口提供稳定可靠的真空介质解决方案。