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在高真空冶炼、半导体制造、航天科技等领域,传统扩散泵油常面临高温裂解、蒸汽压不稳、氧化失效等挑战,导致真空度下降、设备维护频繁。而IOTA 702真空扩散泵油凭借超低饱和蒸汽压(<1.333×10⁻⁴ Pa)和卓越热稳定性,成为电子显微镜、原子能加速器、高真空镀膜等尖端应用的"隐形守护者"。
极限真空性能:工作真空度达10⁻⁴ Pa级,满足科研与工业超高纯需求。
宽温域稳定性:闪点195℃,凝固点-40℃,适应从低温到高温的严苛环境。
超长使用寿命:抗氧化性强,减少换油频率,降低运营成本。
饱和蒸汽压**<1.333×10⁻⁴ Pa**,避免油蒸气反流污染真空腔体。
关键应用:电子束曝光机、太空模拟舱等对洁净真空要求极高的场景。
闪点高达195℃,长期工作温度可达150℃,远超市面普通扩散泵油(通常120℃上限)。
适用于高温真空炉、等离子体镀膜设备。
凝固点低至-40℃,解决低温环境下泵油凝固难题。
在极地科研站、太空设备等低温环境中表现优异。
特殊分子结构抵抗氧化,使用寿命比常规扩散泵油延长3倍。
显著降低半导体工厂、科研实验室的停机成本。
折射率匹配光学薄膜工艺,减少镀膜过程中的界面散射。
广泛应用于AR/VR镀膜、精密光学镜头制造。
中性化学性质,与不锈钢、氟橡胶等常见真空材料完美兼容。
避免传统泵油导致的密封圈溶胀、金属部件腐蚀问题。
在EUV光刻机、离子注入设备中维持稳定超高真空环境。
确保7nm以下制程的良品率提升。
为霍尔推进器、空间模拟舱提供持久真空保障。
在-40℃~150℃太空极端温差下性能如一。
用于托卡马克装置真空室,耐受等离子体高温辐射。
蒸汽压低于氘氚燃料渗透率,保障实验安全。
维持冷冻电镜、场发射电镜10⁻⁵ Pa级超高真空。
避免油分子污染样本,提升成像分辨率。
在高真空蒸镀机中创造无污染环境,减少像素缺陷。
助力Micro OLED屏幕量产良率突破90%。
为癌症质子加速器提供稳定真空环境,确保射线精准度达0.1mm。
| 指标 | 数值 | 行业意义 |
|---|---|---|
| 饱和蒸汽压 | <1.333×10⁻⁴ Pa | 超越普通扩散泵油1~2个数量级 |
| 粘度(25℃) | 45±3 cst | 优化泵送效率与薄膜均匀性 |
| 折射率 | 1.5100-1.5300 | 光学镀膜工艺兼容性 |
| 凝固点 | -40℃ | 保障低温环境正常启动 |
| 闪点 | 195℃ | 杜绝高温裂解风险 |