（2026 年 8 月 31 日）国内特种有机硅材料企业新一代高纯真空扩散泵油完成批量验证，依托分子蒸馏深度提纯工艺，产品在极限真空、抗返油、高温热稳定等关键指标实现优化升级，可对标 DC704、DC705 等国际主流牌号，兼容国内外各类油扩散泵设备，助力国内高端真空介质供应链自主可控进程加快。

真空扩散泵油是油扩散真空泵的核心工作介质，油品性能直接决定真空系统极限真空度、抽气效率以及镀膜成品良率，广泛应用于半导体薄膜工艺、光伏 HJT/TOPCon 真空沉积、光学镀膜、真空冶金、电子束加工与空间模拟实验室等场景。

行业调研数据显示，2026 年国内半导体、光伏产业扩产带动高真空耗材需求稳步上行，下游制造端对扩散泵油的纯度、低挥发、抗高温结焦能力要求持续抬升。新建晶圆产线已经将金属杂质总量、饱和蒸气压等指标由高端选配转变为硬性准入条件。过去高端市场长期被海外品牌占据，存在交付周期长、采购成本波动大等痛点，随着国内材料研发投入加大，苯基类扩散泵硅油产品长期高温运行不易裂解结焦，返油率大幅下降，能够减少真空腔体内污染物沉积，逐步获得下游头部制造企业认可。

市场分析指出，2026 年国内真空扩散泵油市场呈现两大趋势：一方面高纯合成型扩散泵油渗透率不断走高，传统矿物基油品占比持续收缩；另一方面除大型吨级订单外，实验室、中小试产线小批量分装采购需求明显增长，1L‑5L 小规格供货模式逐步普及，降低研发及试生产阶段的库存压力。

业内人士表示，后续随着半导体先进制程迭代、AR/VR 光学镀膜产业扩张，高洁净真空介质的市场空间将进一步释放，本土厂商需要持续强化批次稳定性、合规认证配套以及现场技术服务，进一步缩小与海外顶尖产品的差距，挖掘国内外外贸市场增量机会。