（2026 年 8 月 24 日）国内特种有机硅材料企业完成新一代高纯度苯基型真空扩散泵油迭代开发，通过分子蒸馏多级提纯工艺，产品在极限真空、抗返流、高温热稳定等核心指标实现进一步提升，可适配半导体工艺、光学镀膜、真空冶金、电子束加工、空间模拟装置等高真空工况，加速国内高端真空核心介质的进口替代进程。

真空扩散泵油是油扩散泵的核心工作介质，油品性能直接决定整套真空系统的极限真空度、抽速以及镀膜、芯片制备的成品良率，属于精密制造领域的关键专用化学品。本次推出的新一代扩散泵硅油为无色透明液体，具备极低饱和蒸气压，长时间高温运行不易裂解结焦，显著降低返油率，减少真空腔体内污染物沉积，性能对标国际主流 DC704、DC705 等牌号，可兼容国内外主流扩散泵设备直接替换使用。

市场调研数据显示，2026 年国内真空扩散泵油细分市场规模持续走高，半导体装备扩产、光伏 HJT/TOPCon 产线真空沉积环节需求释放，叠加医药、食品加工真空系统合规升级，带动高纯度、具备认证资质的高端扩散泵油需求快速增长。2026 年国内扩散泵油国产化率提升至 78.2%，但面向先进半导体、航天模拟的超高纯牌号，仍存在部分指标攻坚空间，金属离子杂质控制、长期热老化稳定性仍是行业比拼重点。

业内人士表示，过去高端扩散泵油长期依赖海外品牌，近几年国内材料厂商围绕单体合成、深度精馏提纯、杂质管控持续攻关，不断缩小与海外产品差距。当前下游设备厂商、科研院所逐步开展国产油品长周期寿命验证，部分牌号已经进入半导体设备、光学镀膜产线小批量试用阶段。

从应用端来看，传统矿物基扩散泵油占比持续萎缩，硅油基、聚苯醚、全氟聚醚类合成扩散泵油成为主流发展路线，不同配方分别覆盖普通工业镀膜、超高真空科研、强腐蚀工艺等差异化场景。下游客户采购不再只关注极限真空参数，对油品批次稳定性、低杂质析出、长使用寿命、配套技术服务的要求越来越高。

展望后市，随着国内半导体、商业航天、高端显示、新能源制造持续扩产，高真空装备保有量不断提升，扩散泵油的存量替换 + 新增配套市场将保持稳健增长。行业下一步重点，一方面继续突破超高纯单体原料自主生产，降低对外原料依赖；另一方面推进更多产品完成半导体行业相关洁净度认证，推动国产扩散泵油大规模进入高端产业链供应链。