（2026 年 8 月 17 日）国内特种化工新材料企业完成新一代苯基类真空扩散泵油产品迭代优化，产品在极限真空、热氧化稳定性、低返油等关键指标上进一步提升，可对标进口主流型号，为真空镀膜、半导体、光伏、真空冶炼、科研实验等行业提供高可靠性国产真空介质解决方案。
真空扩散泵油是油扩散泵的核心工作介质，油品的饱和蒸气压、热稳定性、抗氧化能力直接决定整套真空设备的极限真空度、设备寿命与产品良率，是高真空系统不可或缺的关键耗材。随着国内光学镀膜、HJT 光伏电池、半导体薄膜工艺快速发展，下游客户对油品洁净度、使用寿命、批次稳定性提出更高要求，同时进口产品交期长、采购成本波动大等痛点持续凸显，市场对高品质国产扩散泵油需求持续走高。
据了解，本次迭代的真空扩散泵油为无色透明苯基硅油体系，经过精细化合成与提纯处理，有效降低低分子杂质含量，具备极低饱和蒸气压，高温工况下不易裂解氧化，返油率控制优异，长时间连续运行不易结焦积碳，可稳定获得 10⁻⁶‑10⁻⁸Pa 级别极限真空，部分工况搭配冷阱可实现更高真空等级。产品凝固点低，宽温度区间适应性强，适配工业量产设备与实验室超高真空装置，可广泛应用光学镀膜、电子器件制备、真空冶炼、真空钎焊、电子束设备、科研高能物理装置等场景。
多家真空镀膜企业已经完成小批量试用反馈，新一代扩散泵油连续运行周期较传统产品提升，换油周期延长，有效降低设备停机维护频次，综合使用成本得到优化，可满足量产产线连续稳定生产要求。
行业分析表示，2026 年国内扩散泵油市场正处于从 “满足基础使用” 向 “高端性能突破” 的转型阶段，高纯度、低放气、长寿命已经成为行业准入核心指标，国产替代进程持续加速。但高端超高真空工况下，国产油品仍需要积累更多长期工况验证数据。未来国内新材料企业将持续优化分子结构设计，完善中高端扩散泵油产品矩阵，面向半导体、航天特种工况开发定制化产品，进一步缩小与国际一线产品差距。
业内人士提醒，扩散泵油选型需要结合设备真空等级、工作温度、是否配置冷阱、工艺洁净度要求综合匹配，更换油品时做好泵体清洗，避免不同牌号油品混用，以此保障真空系统长期稳定运行。