（2026 年 8 月 10 日）针对半导体、光学镀膜、真空冶炼、科研仪器等领域对超高真空工况的严苛需求，国产高性能真空扩散泵油完成配方与精制工艺迭代，在饱和蒸气压、热氧化稳定性、抗返流性能上实现进一步优化，推动高真空关键耗材国产化落地提速。
真空扩散泵油是扩散泵实现高真空、超高真空的核心工作介质，油品性能直接决定真空系统极限真空度、抽气稳定性，同时影响镀膜工件良率、设备维护周期。传统矿物型扩散泵油饱和蒸气压偏高，高温环境易氧化裂解，存在返油污染、寿命短等痛点，越来越难以适配当前精密制造工艺要求。本次迭代的合成型真空扩散泵油，以高纯度苯基硅油体系为基础，通过分子蒸馏提纯工艺，有效去除轻组分杂质，产品外观为无色透明液体，具备极低饱和蒸气压，可稳定构建 10⁻⁷Pa 级别超高真空环境，显著抑制油蒸气返流，减少腔体、工件污染风险。
在高温工况耐受性方面，新版扩散泵油热氧化安定性得到提升，可长期承受泵体高温工作环境，不易碳化结焦，延长油品使用寿命，降低企业换油频次与停机维护成本。产品对主流国产、进口扩散泵设备兼容性良好，广泛适配光学镀膜、半导体器件制造、真空冶金、电子束焊接、质谱仪器、空间模拟装置等多元应用场景。
据行业调研数据显示，伴随国内半导体、光伏镀膜、高端光学产业扩产，高真空耗材市场保持稳步增长，合成类扩散泵油市场占比持续抬升，本土品牌正在逐步打破海外产品在高端真空领域的垄断格局。过去高端扩散泵油高度依赖进口，供货周期长、采购成本高，而经过多年技术攻关，国产产品关键指标已经对标国际主流牌号，同时可以提供定制化技术支持，兼顾性能与成本优势。
行业技术专家表示，真空耗材的纯度、稳定性是精密制造的底层保障。未来行业发展将向着超高纯净度、长寿命、低污染、绿色环保方向演进，下游客户不再只关注基础真空参数，对杂质含量、批次稳定性、环保处置性能提出更高要求。国产扩散泵油企业也将持续聚焦配方优化与提纯工艺升级，完善产品检测与 COA 出厂质控体系，为国内真空产业链自主可控提供材料支撑。