（2026 年 8 月 3 日）近日，国内特种有机硅材料研发企业正式推出新一代高纯度真空扩散泵硅油产品，依托精细化分子蒸馏提纯工艺，产品在极限真空、抗返流、高温稳定性等关键指标完成优化迭代，可全面适配光学镀膜、半导体、真空冶金、电子束加工、空间模拟实验室等高真空工况，进一步推动高端真空介质材料国产化进程。
真空扩散泵油是油扩散真空泵的核心工作介质，油品性能直接决定真空系统极限真空度、抽气效率以及镀膜成品良率。本次升级的苯基类扩散泵硅油外观为无色透明液体，具备极低饱和蒸气压，热稳定性优异，长期高温运行不易裂解结焦，返油率显著降低，有效减少真空腔体内污染物沉积。产品可对标国际主流 DC704、DC705、HIVAC F-4/F5 等进口扩散泵油，能够直接兼容国内外各品牌扩散泵设备。
随着国内光伏 HJT/TOPCon 电池扩产、光学 AR/VR 镀膜产业发展、半导体薄膜工艺持续升级，市场对洁净型高真空耗材需求持续上涨。行业数据显示，2026 年国内高真空设备配套硅油需求保持稳步增长，下游制造企业持续寻求稳定、高性价比的国产替代方案，摆脱进口货交期长、采购成本波动大等痛点。
现场测试数据表明，该款新型扩散泵硅油连续运行周期较常规油品提升 30% 以上，减少停机换油频次，帮助生产企业降低运维成本。同时产品生产采用闭环绿色合成工艺，重金属、低分子杂质含量严格管控，满足精密光学器件、微电子元器件对真空环境超高洁净度要求。
研发负责人介绍，团队持续聚焦真空硅油分子结构优化，下一步将针对超高真空实验室、强辐射工况开发专用改性扩散泵油系列，完善从中高真空到超高真空全档位产品矩阵。
多家真空镀膜企业完成小批量试用反馈，国产化扩散泵硅油在量产工况下真空稳定性达标，综合使用成本下降 20% 以上。伴随国内真空装备与特种硅材料协同发展，高性能真空扩散泵油有望持续扩大市场份额，助力高端制造产业链自主可控。