（2026 年 7 月 30 日）近日，国内特种有机硅材料企业完成新一代高性能真空扩散泵油产品迭代优化，在极限真空、热氧化稳定性、低返油三大核心指标实现进一步提升，可对标国际主流 704、705 级别扩散泵油产品，面向半导体镀膜、光学薄膜、真空冶金、科研大型真空装置等领域提供稳定国产化解决方案，加速推进高端真空耗材自主替代进程。
真空扩散泵油是油扩散真空泵的核心工作介质，是获取高真空、超高真空环境不可或缺的关键化工材料，油品性能直接决定真空系统极限真空度、抽速以及工件良品率，广泛应用半导体制造、光学镀膜、光伏镀膜、真空冶炼、航天空间模拟、电子显微镜、粒子加速器等众多高端场景。过去很长一段时间，国内超高真空等级扩散泵油市场长期被海外品牌占据，下游企业面临采购周期长、供货波动、成本居高不下等现实痛点，国产替代需求持续高涨。
本次迭代后的新一代扩散泵油，采用单组分苯基硅油精制工艺，馏分区间窄，拥有极低饱和蒸气压，高温工况下热稳定性、抗氧化性能优异，高温运行不易裂解结焦，返油率有效降低，能够快速建立高‑超高真空环境，减少腔体污染，降低冷阱依赖，有效延长油品使用寿命，减少设备停机换油频次，帮助企业降低综合运维成本。产品可适配绝大多数主流型号油扩散泵，既可满足常规工业镀膜、真空热处理规模化生产，也能够适配部分科研、半导体相关严苛工况。
行业数据显示，伴随国内半导体扩产、光伏光学产业持续发展、商业航天以及大科学装置建设提速，国内高真空扩散泵油市场规模保持稳健增长，国产化率逐年提升，下游客户选购思路也从单纯对比采购单价，转向更加看重油品全生命周期综合成本、供货稳定性以及配套技术服务能力。
业内技术人员介绍，高端扩散泵油生产难点集中在原料提纯、组分控制、杂质管控，微小杂质就会造成真空度上不去、返油超标、高温分解，对精馏提纯工艺、品控体系要求极高。现阶段国产产品在中高端场景已经具备大规模应用基础，部分指标已经达到国际同等水平，但面向极端严苛工况的特种扩散泵油，依旧还有持续优化空间。
企业相关负责人表示，后续将持续针对半导体特种工艺、强腐蚀工况、长周期连续生产场景开发定制化扩散泵油配方，完善产品检测与现场应用技术服务，不断缩小与国际顶尖产品差距，为国内真空装备产业链自主可控提供材料支撑。

http://zh.iotachem.com